紫外皮秒激光器微加工-金属钻孔
2019-01-08 10:03:12
详细介绍
紫外皮秒激光器微加工-金属钻孔
COMPILER HPRR皮秒激光器提供uJ级单脉冲能量,重复频率可达10kHz,是COMPLILER系列最新款激光器。此款激光器具有广泛应用,尤其是晶圆切割、微纳米加工、半导体划线、遥感等。
产品特性:
Ø 8皮秒脉冲宽度,
Ø 65µJ @1064 nm,20µJ@355 nm,12µJ @266nm
Ø 脉冲重复频率14kHz,
Ø TEM00模式
Ø 风冷
Ø 外触发或计算机控制,包括突发模式
Ø 可定制升级到100µJ/1064NM/20 kHz
典型应用:
Ø 微加工(晶片、太阳能电池板、玻璃和金属等微米级加工)
Ø 光掩膜制备和修复
Ø 紫外和时间分辨谱,单双光子激光诱导荧光LIF
Ø 测距和遥感
Ø 激光消融、分裂和破坏
Ø 生物医学研究
266nm/10uJ/5ps/14kHz COMPILER HPRR金属钻孔