光束在生产和传播过程中，光学材料不均匀性、光学元件的加工与装配误差、光学系统相差、大气扰动等因素都会噪声波前畸变，从而降低光束质量。对波前质量的检测是光学测量领域的研究热点。

随着科学技术的发展，军事、天文、医疗等多个领域对波前检测技术的要求越来越高，保证高测量精度的同时，还需要实现瞬态波前检测。屹持光电推出的基于四波横向剪切技术的波前分析仪（波前传感器）测量精度高，可实时检测分析波前数据。正真意义上满足了广大科研用户对高精度波前分析仪的需求。本文简单介绍高精度四波横向剪切干涉波前分析仪的几种使用案例。

1、激光光束测量

可以实时测量强度相位（2D/3D）信息，Zernike/Legendre系数，远场，光束参数，光束形状M2等。

2、光学系统测量

Phasics波前传感器可对光学系统和元器件进行透射和反射式测量，专业Kaleo软件可分析PSF,MTF等

透射式和反射式测量光路图

3、光学整形，自适应：

利用Phasics波前传感器检测到精确的波前畸变信息，反馈给波前校正系统以补偿待测波前的畸变，从而得到目标波前相位分布和光束形状。右图上为把一束RMS=1.48λ的会聚光矫正为RMS=0.02λ的准平面波；右图下为把分散焦点光斑矫正为准高斯光束。高频率大气湍流自适应需要配合高频波前分析仪。

 自适应光学光束整形

4、光学表面测量：

  Phasics的SID4软件可以直接测量PtV, RMS, WFE和曲率半径等，可直接进行自我校准，两次测量相位作差等。非常方便应用于平面球面等形貌测量。部分测量光路如右图所示

                                   物理表面质量测量

5、等离子体测量

法国Phasics公司SID4系列等离子体分析仪(Plasma Diagnosis)是一款便携式、高灵敏度、高精度的等离子体分析仪器。该产品可实时检测激光产生的等离子体的电子密度、模式及传播方式。监测等离子体的产生、扩散过程，以及等离子体的品质因数。更好地为客户在喷嘴设计、激光脉冲的照度、气压、均匀性等方面提供优化的数据支持。

等离子体分析

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