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荷兰ISTEQ公司XWS系列宽带等离子光源
ISTEQ是一家创新的高科技公司,为全球各种工业应用开发了广泛的现成解决方案-高亮度白光光源。 这些主要用于半导体行业以及材料分析和光谱学。ISTEQ主要重点是开发和制造等离子光源、光谱学和显微镜设备,适用于从X射线到红外线的光谱区域。
产品介绍:
ISTEQ 的 XWS 光源产品经过专门开发,适用于多种应用,包括光谱学、高分辨率显微镜、薄膜测量、表面计量等。产品来源基于尖端技术,并受全球专利保护。
XWS 宽带光源的光谱范围有 2 种不同配置,具体选取决于其具体应用:
无臭氧配置(OFR):光谱范围为 240 nm 至 2700 nm
UV 配置:光谱范围为 185 nm 至 2700 nm
产品特点:
·连续激光等离子体放电 ·由于无电极,使用寿命长
·宽光谱范围 190-2500 nm ·发射体积小
·高光谱亮度 ·高时空稳定性 STD < 0.15
·通过软件、GUI 进行参数监控,外部光源控制
产品应用:
·吸收光谱和荧光光谱 ·色谱、微流体、芯片实验室
·显微镜,包括共聚焦和荧光 ·液滴光谱仪、细胞荧光计等中的检测器。
·微电子诊断系统(污染和缺陷控制) ·生物医学应用(光动力疗法等)
·薄膜和临界尺寸(CD)计量
·人造阳光系统(测试系统、照明等)
型号参数:
型号
XWS-30
XWS-65
XWS-X
光谱范围
190 - 2500 nm (UV )
250-2500nm(OFR )
190 - 2500 nm (UV)
250 - 2500 nm(OFR)
最大光谱亮度mW / (mm²·nm·sr),(350-550 nm)
48(UV 配置)
68(UV 配置)
60(OFR 配置)
130(UV 配置)
自由空间输出功率
高达 1W
高达 1.8W
高达 1.5W
光纤耦合输出功率mW 最小/平均/最大
300 / 319 / 350
510/560/630
510/575/650
等离子体尺寸(光谱范围 350 - 550 nm),μm
160 x 320 (UV 配置)
160 x 360(UV 配置)
150 x 260 (UV 配置)
使用寿命(小时)
10000
时间和空间稳定性 (STD)
< 0.15%
<0.05%
光源介质
氙灯
自由空间输出 NA(默认)
0.5
0.4
最大输出NA(根据要求)
0.6
外部光学接口
C 接口,30 mm光学笼
等离子体到输出窗口的距离,mm
14.4
21.5
光纤接口(仅适用与FCU版本)
SMA或FC
电源
100 - 240 V,50/60 Hz
气体清扫(仅适用于 UV 配置)
氮气 99.99%
光头尺寸mm
149 x 166 x 145
130 x 122 x 106
电源尺寸 mm
210 x 85 x 46
351 x 175 x 232
水冷光头尺寸mm
-
113 x 150 x 106
液冷单元尺寸mm
350 x 166 x 184